监控程序的操作PPT格式课件下载.ppt

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输入请牢记修改后的密码，以避免无法进入程序进行工作。

进入程序进行工作。

本窗口为登录窗。

二二.温度设置温度设置nn在手动操作屏的中上部有三个模拟温度控制器的图形。

根在手动操作屏的中上部有三个模拟温度控制器的图形。

根据温度控制器图形上的据温度控制器图形上的“RKC”“RKC”、“REX-F400”“REX-F400”、“RKC”“RKC”字符，可以知道分别对应本层扩散字符，可以知道分别对应本层扩散/氧化炉的三个控制温氧化炉的三个控制温度的温控仪。

温控仪的型号分别为度的温控仪。

温控仪的型号分别为“CD401”“CD401”，“F400”“F400”。

温度控制器图形中，三个绿色的温度控制器图形中，三个绿色的“850”“850”分别表示左、中、分别表示左、中、右三个温区的控温热偶的测量值。

三个红色的右三个温区的控温热偶的测量值。

三个红色的“850”“850”分分别表示左、中、右三个温区的温度控制器的温度设定值。

别表示左、中、右三个温区的温度控制器的温度设定值。

通过这三个温度控制器的复杂控制，能实现恒温区所要求通过这三个温度控制器的复杂控制，能实现恒温区所要求的控制精度。

在手动操作屏中，三点的的控制精度。

在手动操作屏中，三点的SVSV值可以单独设值可以单独设置，主要为提供维护与测试所用。

在下面将提到的自动运置，主要为提供维护与测试所用。

在下面将提到的自动运行屏中，行屏中，SVSV值由自动程序自动设置，不能够手动修改。

值由自动程序自动设置，不能够手动修改。

nn温度设定值可在手动操作屏中进行手动修改。

修改方法：

温度设定值可在手动操作屏中进行手动修改。

点击温度控制器图形上的点击温度控制器图形上的SETSET方形按钮，桔红色的方形按钮，桔红色的“850”“850”将变色，通过将变色，通过“+1”“+1”等按钮进行修改数值，最后等按钮进行修改数值，最后再次点击再次点击SETSET方形按钮，本端点方形按钮，本端点SVSV温度设定值将得到修改温度设定值将得到修改（要求在通讯正常情况下）。

（要求在通讯正常情况下）。

本窗口为手动操作屏本窗口为手动操作屏三三.手动状态实时温度曲线和流量曲手动状态实时温度曲线和流量曲线显示线显示nn在手动操作屏的中下部，有一个记录并描述温度的曲线图。

提供记录的温在手动操作屏的中下部，有一个记录并描述温度的曲线图。

提供记录的温度范围为度范围为0013001300，曲线走势从左往右，记录的时间轴能实现自动调整。

，曲线走势从左往右，记录的时间轴能实现自动调整。

从图上可以看到，记录从从图上可以看到，记录从1111点点1313分分4545秒开始（这即是启动进入程序的时间），秒开始（这即是启动进入程序的时间），到到1212点点1313分分4545秒，为秒，为11个小时时间长度。

当记录到个小时时间长度。

当记录到1212点点1313分分4545秒的时候，程秒的时候，程序自动将时间区域长度翻倍，如此类推。

实时温度曲线在程序运行期间将序自动将时间区域长度翻倍，如此类推。

实时温度曲线在程序运行期间将一直记录，在两种情况下将自动停止：

一直记录，在两种情况下将自动停止：

nn点击点击“恒温区恒温区”按钮，程序进入恒温区调整屏；

按钮，程序进入恒温区调整屏；

nn进入工艺自动运行屏（此时将启动自动运行状态下的温度曲线记录）。

进入工艺自动运行屏（此时将启动自动运行状态下的温度曲线记录）。

nn温度曲线是由计算机读回的扩散氧化炉的控制热偶的测量值进行绘制的，温度曲线是由计算机读回的扩散氧化炉的控制热偶的测量值进行绘制的，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录曲线显示为洋红色线条，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录曲线显示为洋红色线条，右端温度记录曲线显示为绿色线条。

右端温度记录曲线显示为绿色线条。

nn本屏顶部有实时时间显示。

建议隔一个月左右将所有的计算机时钟参照一本屏顶部有实时时间显示。

建议隔一个月左右将所有的计算机时钟参照一个标准时钟作一次调整，因为计算机的实时时钟作为长时间计时是不太准个标准时钟作一次调整，因为计算机的实时时钟作为长时间计时是不太准确的。

确的。

nn本操作界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作屏的本操作界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作屏的“温度曲线温度曲线/流量曲线流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的转换。

进行温度曲线显示和流量曲线显示的转换。

四四.气体流量、阀门及开关量控气体流量、阀门及开关量控制制nn在手动操作屏右侧，有“气体流量控制”和“阀门及开关量控制”两个区域，在这两个区域可对电磁阀状态、气体流量大小以及其它一些开关量状态进行设置。

设置键为右侧下面的“+1”等按钮。

在设置各路气体的流量时，相应气路的电磁阀或气动阀将自动打开（后阀除外）。

在“气体流量设置”区域的右侧有一个测量值区域，显示气路中的实际流量。

流量的设定值和显示值的单位均为mL/Min。

nn在手动操作屏、自动运行屏和恒温区调整屏的转换中，气体流量、阀门及开关量的设置状态将得到保持。

五五.推舟控制推舟控制nn推舟控制”区域的右侧为推舟控制的测量值区域。

在测量值区域，有舟前进、舟后退状态显示，当舟前进时，舟前进显示为“TRUE”；

当舟后退时，舟后退显示为“TRUE”。

在测量值区域，还有前限位、后限位状态显示，当舟到达前限位时，前限位状态显示位“TRUE”；

当舟到达后限位时，后限位装态显示“TRUE”。

nn在手动操作屏中进行推舟控制只需设置舟速度并选择前进或后退即可实现推舟的自动运行。

操作过程如下：

五五.推舟控制推舟控制nn点击设置值区域中的点击设置值区域中的“舟速度舟速度”按钮，使其选中为有按钮，使其选中为有效，然后通过软键盘设置推舟速度。

推舟速度设置范效，然后通过软键盘设置推舟速度。

推舟速度设置范围为围为00500500，单位为，单位为mm/Minmm/Min。

速度设置为零时表示舟。

速度设置为零时表示舟为停止状态，数值越大速度越快，但高速状态不利于为停止状态，数值越大速度越快，但高速状态不利于舟的运行平稳，建议将舟速设置在舟的运行平稳，建议将舟速设置在200200到到300300之间。

之间。

nn点击设置值区域中的点击设置值区域中的“舟前进舟前进”或或“舟后退舟后退”按钮，按钮，使其选中为有效，此时已红色突出显示。

使其选中为有效，此时已红色突出显示。

nn通过通过b）b）的速度设置，已经启动舟的运行。

的速度设置，已经启动舟的运行。

nn在舟的运行移动中，如果需要手动停止推舟的运行，在舟的运行移动中，如果需要手动停止推舟的运行，可以通过点击设置区域的可以通过点击设置区域的“舟停止舟停止”按钮，也可以将按钮，也可以将舟速设置为零，推舟将立即停止运行。

舟速设置为零，推舟将立即停止运行。

nn在推舟的运行期间在推舟的运行期间,如果计算机判断到推舟的限位检测如果计算机判断到推舟的限位检测开关被压住，推舟将立即停止运行。

开关被压住，推舟将立即停止运行。

六六.手动操作屏报警显示手动操作屏报警显示六六.手动操作屏报警显示手动操作屏报警显示nn上图中共有两项报警，一项是“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，另一项是“扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”。

图中这里项前面的灯均为绿色表示未出现报警状态，如果出现相应的报警，则相应的项的灯变为红色。

如果出现扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”的报警，则系统自动关闭扩散小N2，且系统自动将该报警显示出来。

如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统也自动显示报警窗口，只需单击“报警窗口”按钮就可解除该报警状态。

七七.工艺编辑工艺编辑七七.工艺编辑工艺编辑nn点击手动操作屏左侧的点击手动操作屏左侧的“数据编辑数据编辑”按钮，按钮，程序进入集程序进入集成工艺编辑屏。

据体操作如下：

成工艺编辑屏。

nn打开工艺：

从手动操作界面进入编辑界面后，若想打开打开工艺：

从手动操作界面进入编辑界面后，若想打开其它已经编辑的工艺，只需在其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号打开工艺号”下拉框中下拉框中选择所需工艺号即可。

打开其它工艺时，当前编辑的工选择所需工艺号即可。

打开其它工艺时，当前编辑的工艺不保存。

艺不保存。

nn编辑工艺：

编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数编辑工艺：

编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，此时该位置的按钮被按下，然后用鼠标点击据的位置，此时该位置的按钮被按下，然后用鼠标点击程序自带软键盘上相应的按钮，即可编辑数据。

本程序程序自带软键盘上相应的按钮，即可编辑数据。

本程序的工艺最多为的工艺最多为3030步，每次显示步，每次显示1515步，可以按步，可以按“下一页下一页”和和“上一页上一页”按钮进行工艺的前按钮进行工艺的前1515步和后步和后1515步的切换。

步的切换。

编辑时最好从第一步开始，首先编辑每步的工艺时间，编辑时最好从第一步开始，首先编辑每步的工艺时间，只有工艺步的时间不为零，才可编辑该步的其它工艺数只有工艺步的时间不为零，才可编辑该步的其它工艺数据。

如果工艺步的时间为零，则该步及以下步均不执行。

据。

设置推舟状态时，设置推舟状态时，00表示停止，表示停止，11表示前进，表示前进，22表示后退。

表示后退。

八八.工艺保存工艺保存nn编辑完工艺以后，用户应仔细检查各步工艺的合理性；

然后在编辑完工艺以后，用户应仔细检查各步工艺的合理性；

然后在“编编辑工艺号辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工艺号，最后点击下拉框中选择希望保存的工艺号，最后点击“存盘退出存盘退出”按钮，则该条工艺编辑完毕。

如果不想保存，则点击按钮，则该条工艺编辑完毕。

如果不想保存，则点击“不存盘退不存盘退出出”按钮，程序回到手动操作界面。

在编辑工艺的过程中也可点击按钮，程序回到手动操作界面。

在编辑工艺的过程中也可点击“存盘存盘”按钮来保存工艺。

按钮来保存工艺。

nn在工艺编辑中，可实现对恒温及升降温斜率的设置。

具体设置方法在工艺编辑中，可实现对恒温及升降温斜率的设置。

具体设置方法如下介绍。

一般建议如下例设置工艺升温过程：

第一步为初始设置如下介绍。

第一步为初始设置步，温度设置步，温度设置4040度，时间为度，时间为11分钟。

即设备在常温停留分钟。

即设备在常温停留11分钟。

第二分钟。

第二步升温，温度设置步升温，温度设置10001000度，时间设置度，时间设置160160分钟，升温斜率分钟，升温斜率66度度/分钟。

分钟。

以下各步的工艺参数根据需要进行设置。

nn另外，该界面还设有另