半导体厂设备工程师人员安全注意事项1Word格式.docx
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(二)依据国际安全评分系统(ISRS)所统计之意外事故比率:
每600件虚惊事故,就会伴随30件财物损失之事故,并产生10件轻
微伤害事故,最后可能产生1件严重伤害事故。
(三)任何意外事故发生,均是由日常工作中不安全的行为或不安全的环境所造
成。
(四)落实安全管理是主管的必修课程,不是在事后补救;
预防胜于治疗。
(五)只要是涉及安全,你唯一能相信的是你自己,你必须有百分之百的把握,
你所做的任何行为或动作没有任何安全顾虑。
所有工作人员,都必须有预
知危险之危机意识。
(六)从事任何工作,你首先要考虑的是你自己本身的安全,再来是周遭的人身
安全,其次才是机台与产品的安全。
(七)担任维修及保养工作时,若你发现你不够清楚,请立即停止进行中的工作。
(八)凡事务必遵守标准程序(SOP、PMProcedure、TroubleShootingGuide)。
从事特定维修工作,请确实按照规定穿着标准防护用具。
二、设备人员维修/保养工作通则
半导体厂中设备人员维修、保养时易造成人员安全疑虑,因此凡于无尘室内
从事PM及维修工作时,均应遵守下列规定事项,以确保安全且整齐之高质量工
作环境。
(一)安全事项:
1、任何操作均以安全为第一考虑。
2、设备维修时,必须挂上维修中警示牌,以防止他人误动作。
3、PM维修中,如需占用走道或掀开高架地板,工作人员必须将施工区域用围
栏区隔,以防止危险发生;
掀开高架地板作业完毕,地板盖回后,必须确认
地板间是否平整,以维持无尘室内作业安全。
4、PM维修时,若有接触化学品或有害气体之虞时,必须依照标准Procedure
做好安全防护措施,以保护本身及他人之安全。
5、PM维修中如需要使用附属设备,如工作台车、HouseVacuum时必须摆放适
当之安全位置,以防止人员绊倒产生危险。
6、使用IPA、H2O2、DIW须用小瓶罐装,人员离开时须放回钢瓶座内。
7、执行维修保养工作时,务必特别注意机台零件及工具锐角对人身可能造成之
伤害。
(二)操作整齐注意事项:
1、任何操作均应随时保持高质量之工作环境。
2、PM维修拆下之零件,不可放置机台或地面上,必须放置维修台车上或指定
收纳置物箱内,螺丝须放入螺丝盒内,如Parts体积庞大须暂放地面,应放
置安全,不得妨碍他人之作业安全。
3、PM维修使用之工具须摆放整齐,人员离开时必须放在工作台车上或放回工
具箱内。
4、PM维修使用完之无尘布、棉花棒等,必须立即丢入垃圾筒及垃圾袋内,以
保持工作环境之整洁。
5、搬运物品时必须轻提轻放,不可用拖拉方式移动物品。
6、PM维修时,禁止使用货架台车暂放零件或运送零件,以维护货架台车之清
洁,PM工作台车使用完毕,必须保持干净清洁,放置于规定地方。
7、HouseVacuum使用完毕后,须checkhouseoutlet之铜盖是否盖上及密合,
使用电源插座完毕后,须check电源座是否推回地板面,盖子是否盖上。
8、工作中或暂时休息,皆不可坐于桌面及地板或脚踏板上。
9、工作完成后,请检视周遭环境确保整齐清洁。
三、设备人员单位简介及安全概述
半导体厂设备单位一般包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、
WetEtch、Photo,各单位之主要性质介绍如下:
(一)Diff扩散设备单位(包括KE、TEL、DNS、Applied等)
主要用到有毒、无毒之ProcessGas、water、高电压、高电流、废气,Clean
机台则使用强酸碱化学液、而有废酸液之生成。
(二)Thin-film薄膜设备单位(包括Applied、Novellus等)
主要用到有毒、无毒之ProcessGas、water、高电压、高电流、高频、废
气。
(三)CMP研磨设备单位(包括Applied、DNS等)
主要用到强碱slurry化学液、water、而有废碱液之生成。
(四)Vacuum真空设备单位(包括Applied、AG、Varian等)
气;
喷砂机台作为维修之用。
(五)Etch干蚀刻设备单位(包括Lam、TEL、Applied、PSC、Mattson机台)
干蚀刻机台之制程主要用到有毒特殊气体(Cl2,Hbr,氟化物…)、无毒之气体
(N2,Ar….)、water(冷却循环水,去离子水….)、高电压、高频、高电流在真
空中反应,且在生产过程会有废气、辐射、废水之生成物。
(六)Etch湿蚀刻设备单位(包括Kaijo机台)
湿蚀刻机台之制程主要用化学药品,如强酸
(HF,BOE,H3PO4,H2SO4,HNO3…),强碱(ACT-690…)及DIW,Cooling
water等,在生产过程中会有废酸液、废水及反应生成物之产生。
(七)Photo黄光设备单位(包括ASMstepper、TELtrack、AGV及其他相关量
测或检视机台)
主要用到紫外线光源HMDS、thinner、光阻等有机溶剂,且有高电流、高
电压、紫外线之应用,生产过程会有废气、废液之生成。
综合一般无尘室内常见之工业安全伤害,可分为化学性、物理性之伤害,
而伤害也分布身体之各部位。
以下就将各单位较易发生及机台维修之安全事项说
明如下:
(一)Diff扩散设备单位
1、FurnacetoolsandCVDtools
(1)机械方面:
robot之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄、plasma辐射伤害、gate
door之夹伤,高温烫伤。
(2)电力方面:
高压电流触及。
(3)维修方面:
身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、wafer之割伤。
(4)保养方面:
高温炉管之烫伤、parts之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。
2、Wetbench安全注意事项
robot之夹伤、撞伤、挫伤。
(2)化学药剂方面:
强酸/强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。
(3)电力方面:
漏电触及。
(4)维修方面:
撞伤、wafer割伤、强酸/强碱之波及。
3、Inter-baytransfersystem
R/M之夹伤、撞伤、挫伤。
(2)维修方面:
高架作业之安全。
(二)Thin-film薄膜设备单位
避免撞伤、高温烫伤、废液桶压伤、robot夹伤、slitvalve夹伤、
肌肉拉伤。
避免高压电流触及身体。
(3)维修保养方面:
高温烫伤、粉尘吸入、重物压伤、强酸/强碱之灼伤、身
体之擦伤、撞伤、夹伤、挫伤、parts割伤、powder避免吸入体内。
(4)化学溶剂方面:
强酸/强碱之波及和吸入。
(5)特殊气体方面:
防止毒气外泄之吸入。
(三)CMP研磨设备单位
motorgear转动时夹伤、DNSgatedoor夹伤。
a.MirraCross转动时须先确定无人。
b.robot移动时,须把door关起来,避免撞人员。
c.Wafer破片之割伤。
换Pad时须使用适当工具,避免拔Pad时工具撞到脸部。
(5)化学药剂方面:
a.维修或养DNSTBCchamber时要先flush,并带口罩及防酸手套,防止
HF腐蚀。
b.处理Wslueey时,须带手套。
(四)Vacuum真空设备单位
robot之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄、plasma辐射伤害、slit
valve之夹伤,肌肉拉伤,高温烫伤。
高压电流触及、Xray辐射、强磁场。
高温烫伤、parts之割伤、化学溶剂吸入性及喷溅之伤害。
(五)Etch干蚀刻设备单位
机械手臂之夹伤、撞伤、chamber毒气外泄吸入性之伤害、plasma
辐射污染伤害、gatedoor之夹伤,高温烫伤。
高电压、高电流之电击伤害。
parts之割伤、化学溶剂吸入性之伤害。
(六)湿蚀刻设备单位
机械手臂之夹伤、撞伤、挫伤。
强酸/强碱之灼烫伤、化学品之触及、吸入性伤害。
高电压、电流之电击伤害。
(七)Photo黄光设备单位
robot、mailarm、AGV之撞伤,KrF、化学品外泄、indexer之
夹伤,高温烫伤。
高压电流电击。
身体之撞伤、擦伤、夹伤、烫伤、lamp、wafer之割伤、高速旋
转物飞出、液体溅出。
紫外线、laser曝露、有机溶剂吸入、皮肤接触。