ZZ1100箱式真空镀膜机说明书解析Word文档格式.docx

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2.2.1直径：

内部为φ1100mm。

2.2.2内腔尺寸：

φ1100×

1300mm。

2.2.3底板上有45个φ33.5通孔和2个斜光路孔。

3.3工件夹具：

2.3.1外径φ1000mm。

2.3.2锥形球面夹具：

2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。

2.4基片烘烤：

可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW（350℃全烘烤）；

下烘烤为碘钨灯8KW（选配），最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。

2.5电阻蒸发电极：

由技术协议确定，功率5KW/只。

2.62.7离子轰击：

轰击电压0—300V

2.8抽气系统

2.8.1主泵：

K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s

2.8.2前级泵：

ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s

2.8.32X-70机械泵：

抽速70L/s

2.9光路系统：

2.9.1透、反射光路。

2.9.2六位（12位）比较片，另留一石英探头位置。

2.10其它

2.10.1电源：

3相220V/380V50Hz

2.10.2总功率：

约40KW

2.10.3耗水：

约30L/min

2.10.4压缩空气：

5～6Mpa

2.10.5水压:

0.2～0.25MPa

2.10.6总重量：

（包括控电柜）约5吨

2.10.7外型尺寸：

主机：

1390×

3500×

2300（宽×

深×

高）控电柜：

1400×

600×

2100（宽×

高）

3、工作原理及结构说明

该镀膜机由主机、控电柜二部份组成。

3.1主机部分：

该主机在形式上与一般钟罩式镀膜机比较有显著的不同。

它没有升降系统，这就带来很多方便。

它可使工作间的高度大大降低，工作间的墙可以把蒸发室与脏的机械部份分开，有利于工作间的净化、操作和维修都极为方便。

蒸发室的壁由于是固定的，因此测厚系统保持相对稳定。

3.1.1蒸发室：

由箱体和门组成。

两者用铰链连接，“O”型真空橡胶圈密封，密封压力主要依靠作用于门上的大气压力，预压力通过门上的凸轮压紧机构和铰链弹簧产生。

门上有两个φ125mm的视镜座，安装有挡板装置，观察孔径φ125mm，观察蒸发室工作情况。

箱体和门全部用不锈钢制造，蒸发室由下列各部分组成：

3.1.1.1工件驱动装置：

由位于蒸发室外的直流电机、蜗杆、蜗轮减速器和离合器与位于蒸发室内的一对啮合齿轮和工件架等组成。

直流电机的转动，通过减速器减速，带动离合器，使工件架转动。

直流电机可以无级调速。

位于真空室内侧的大轴承带有水冷套，避免由于蒸发室内温度过高而引起卡死现象发生。

该装置可以安装球面帽形夹具，平面园盘夹具，行星夹具，扇形平面夹具，还可以安装其它形式的夹具，并且互换非常方便。

3.1.1.1.1帽形球面夹具：

由骨架和一个球形盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。

3.1.1.1.2扇形球面夹具：

由骨架和四个扇形球面盘组成，骨架固定在驱动装置的三根螺杆上。

3.1.1.2电阻蒸发源：

4对，共有6个水冷电极，左右分布，由转换开关转换。

3.1.1.3离子轰击装置：

由轰击棒和高压引入电极组成。

用来对工件进行离子清洁。

轰击功率由操作面板上的旋钮调节。

该装置仅对工件夹具轰击，为使工件受到均匀轰击，放电时，工件夹具必须转动。

3.1.1.4工件烘烤装置：

最高烘烤温度可达350℃，温度可在最高温度下任意设定。

3.1.1.5烘烤引线座：

安装于箱体的顶盖上，有4根接线柱，供烘烤电源接线使用。

3.1.1.6挡板机构：

共2套，由摆动气缸，扇形挡板组成。

摆动速度可调，挡板高度和距蒸发室中心的距离可调。

挡板起始位置可调节夹块安装位置来调整。

挡板动作可由操作盒上的按钮来控制。

3.1.1.7多脚引线座：

共2个安装于蒸发室底板上。

蒸发室和电子枪偏转线圈接线通过上下插座连接于此线引座上。

维修拆装下插座位置时，注意接线方向，不能插错，该引线座剩余接线柱留作其它引线备用。

3.1.1.8真空测量管座：

位于箱体后上方，有多个。

供安装各种真空测量管。

3.1.1.9室体放气阀：

1个，位于箱体后方，供蒸发室放气之用。

该阀体用通径为φ10mm的气动放气阀，放气口安装有消音器，防止异物在放气时进入蒸发室内。

3.1.1.10微调真空阀：

位于箱体左侧，供蒸发室手动充气用。

最大充气量为200托·

升/秒。

3.1.1.11自动充气系统：

见压强控制仪说明

3.1.1.12蒸发室照明灯：

功率15W，为低压（6V）溴钨灯，供蒸发室照明用，安装位置可以移动。

3.1.1.13。

水冷管：

紧帖于蒸发室外壁，用不锈钢管焊接制造。

该水冷管在蒸发室放气之前可通热水，使之迅速加热，防止水蒸汽聚在蒸发室内表面，在工件加热烘烤和蒸发源工作期间，可通冷水，保护真空密封橡胶圈。

3.1.2真空系统：

该机真空系统置于后面，安装和维修都极为方便。

机械泵置于设备最左侧，安放在地面上，罗茨泵安装在骨架上，骨架可用地脚螺钉固定于地面的地基上，这样机械泵和罗茨泵的振动通过波纹管、真空橡胶管和地基消振，使机械振动尽量不影响主机蒸发室。

3.1.2.1高真空阀：

高真空系统的一个主阀，直径为φ1000mm，气缸驱动。

在蒸发室放气之前，关闭高真空阀，切断蒸发室同扩散泵之间的通路，使扩散泵保持高真空状态，蒸发室就可进行下一工作周期的准备。

当蒸发室抽到所要求的低真空度时，打开高真空阀，可对蒸发室进行高真空抽气。

3.1.2.2冷阱：

置于高真空阀下，扩散泵口之上。

该冷阱具有通导能力大，挡油效果好，结构紧凑等优点。

3.1.2.3油扩散泵：

见K-630型高真空油扩散泵技术说明书。

3.1.2.4罗茨泵：

见ZJP-300型罗茨泵技术说明书。

3.1.2.5机械泵：

见2X-70型机械泵技术说明书。

3.1.2.6低真空阀：

采用通径为φ100mm的气动阀，用来切断前级真空系统与蒸发室的通路，操作方便，使用安全可靠。

3.1.2.7预真空阀：

采用通径φ100mm的气动阀，用来切断前级真空系统与高真空油扩散泵的通路，操作方便，使用安全可靠。

3.1.2.8机械泵放气阀：

安装在机械泵管路前处，机械泵停止工作时，机械放气阀自动向机械泵放大气，防止机械泵返油。

3.1.3水冷系统：

3.1.3.1扩散泵冷却水路分上下独立两路，并分别设有保护装置（水流监控器），当水流低于规定值时，扩散泵加热电源自动切断，同时报警，以保证扩散泵安全工作。

3.1.4监控光路系统

3.1.4.1比较片为6位（12位），电动选位。

3.1.4.2可透射和反射

3.1.4.3可接受红外光和可见光

3.2控制柜：

本设备的控电柜采用了大板构和新型可编程控制器（PLC），比以前的结构更合理，显示直观全面，操作简单，维修方便；

通过优化的程序控制，避免了手动误操作，提高了设备的安全和可靠性。

3.2.1结构简述

3.2.1.1控电柜正面为带锁的门板，板上安装了进口数字温控仪、电压表、电流表、电位器及操作开关和指示灯，通过表头和指示灯可观测机器工作参数和状态。

3.2.1.2控电柜内部为电器板，安装真空系统控制元件，工转调速器，烘烤，阻蒸，轰击调功器及转接用接线座。

3.2.1.3控电柜底板上安装轰击用变压器。

3.2.2工作原理及操作说明

3.2.2.1真空系统操作见电器说明书

3.2.2.2工件烘烤

两组电源，上烘烤最大功率12KW，下烘烤8KW，用调功器控制，利用温控仪给出的反馈信号自动调节。

注意：

烘烤时必须先启动工件转动，蒸发室抽至高真空。

3.2.2.3离子轰击

最大使用功率1KW，空载电压3KV，最高轰击电流500mA，功率调节用一体化调功器。

开轰击时应关好控电柜门，关主机门、开动工转，真空室内应抽至低真空，慢慢旋动调节电位器，当打火严重电流表指针频繁摆动圈较大时，应停止调节，待轰击一段时间电流稳定后再继续，若有短路，自动过流保护会切断轰击电源，这时应将电位器回零，复位后，再重新启动。

3.2.2.4电阻蒸发

两组电源，每组最大功率4.5KW，用调功器控制，各供一组蒸发源。

两个阻蒸变压器安装在主机底板上，次级有2组抽斗，并联联接，工作电压0～8V，电流0～600A。

阻蒸电源开关在面板上，调节电位器在操作盒上。

开阻蒸时必须先启动工件转动，蒸发室抽至高真空。

3.2.2.5工件转动及其它

工转调速用直流电机调速器控制，用面板上的电位器手动调节，可实现无级调速，工作电压DC0～200V。

热水由按钮及电器共同控制，功率4.5KW，照明由按钮控制。

3.2.2.6报警

门板上有报警停止按钮，当气源低于工作压力及蒸发源水流异常时，报警器会报警，按停止报警可关闭报警器，处理完故障后再复位停止报警按钮。

4.安装和调试

4.1拆箱：

设备分三箱包装，主机装一箱，控电柜装一箱，备件装一箱，拆箱时取出装箱单和技术文件，按装箱单清点设备和备件，擦净表面灰尘和防锈油，与此同时检查设备搭运输过程有何损坏。

4.2将设备安装在工作位置。

相对位置如图3所示，机械泵和罗茨泵可以安装在主机后方，控电柜安放在主机右侧，具体位置由用户现场确定。

4.3安装测量规管

4.4安装工件夹具

4.5安装仪器、仪表及控电柜与主机各部位连接线包括测量插头等。

4.6接通电源

4.7接通水源，水压不低于0.2Mpa，接通气源（供气压力0.6Mpa,工作压力0.4～0.45Mpa）

4.8启动设备前应进行下列检查和调试。

4.8.1检查设备接地是否可靠，电气部份是否正确。

4.8.2取下机械泵皮带轮上的皮带，启动电机，检查电机运转方向与机械泵转箭头方向是否一至，然后再套上皮带。

4.8.3检查罗茨泵运转方向与箭头方向是否一致（详见罗茨泵使用说明书）。

4.8.4检查有关部件的连接螺钉是否拧紧，特别是真空系统的连接螺钉。

4.8.5检查各转动机构的传动是时否灵活，有无卡滞现象。

4.8.6打开蒸发室，对蒸发室内壁和内部零件进行清洁，检查蒸发室内各电极接线是否正确。

尤其注意电阻蒸发电极是否与防污板相碰。

4.8.7对蒸发室试抽真空，检查是否能达到应达到的真空指标。

5．操作规程

5.1打开总电源。

5.2打开总水源。

5.3打开总气源。

5.4操作手动按钮启动设备抽真空。

5.4.1打开机械泵冷却水阀门，启动机械泵，开始对管道抽真空。

5.4.2对罗茨泵前级抽真空，同时打开罗茨泵冷却水阀门。

5.4.3开预阀对扩散泵抽前级真空，延时30s开罗茨泵，同时打开扩散泵上下冷却水阀门及水冷挡板冷却水阀门。

5.4.5当扩散泵处于正常工作以后，关预阀，开低阀，，对蒸发室抽低真空至1千帕左右关旁通阀开罗茨泵,5Pa左右时，关低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空

5.5若需要对工件进行离子轰击，在蒸发室真空度10～1Pa范围内可进行。

离子轰击电压可用控电柜面板上调节旋钮调节。

轰击时，工件架必须匀速转动（转速由用户根据需要选择），以便对工件进行均匀轰击。

若需较长时间进行离子轰击（轰击时间不应超过5min），可进行低预阀门切换，或用