电容式薄膜绝对压力传感器原理docx.docx

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压力测量-电容式薄骥压力传感靄

现代电容式薄膜绝对压力传感器原理I

一个完整的传感器-压力传感器+信号控制电路

压力測量・电容式溥原压力传感器

现代电容式薄膜差压式压力传感器原理

压力测量・电容式IO舅压力传感器

温度控制的薄膜压力传感器-范围及输出

举例：

IT。

"满量程

压力传感器

-S牌朋F

Control

Range

Reading

Range

Zeroing

Pressure

10V

1.0

.01

1mV

1000Torr

温度控制的薄膜压力传感器系列

Control

Range

Reading

Range

10Torr

1.0

.01

Zeroing

Pressure

10V

1mV

0.1Torr

1000

100

10

1

10_1

10_2

10-3

10-4

10-5

10-6

10-7

零点、满量程及线性

显示压力

压力溉

压力测量-电容式薄膜压力传感鬍

零点调整

输出信号

用螺丝刀进"

行零点调整1

或在显示/控制仪O上实施零点修正

MKS电容式薄籐压力传感11系列

600系列Baratron®电容式薄膜

压力传感器

A满量程范围：

20mT~25kT

A精度:

读数值的0.12%

A分辨率:

满量程的0.001%

A温度控制:

环境温度,45eCor100°C

A温度系数

•零点:

0.002%满量程./°C

•增益：

0.02%读数值/°C

A两个继电器控制点可选

A电源电压：

±15VDC

A输出信号：

0~10V

700系列Baratron®电

容式薄膜压力传感器

•电源电压：

+13VDC~+32VDC•输出信号：

0~10V

0~5V

4~20mA

890/892压力传感器

•满量程范围：

20~3000PSI

•精度:

读数值的±1%

•中等性能

•价格便宜

•紧凑型尺寸

•满量程范围:

1T^1000T

•精度:

读数值的±0.5%

•温度控制:

环境温度，

45°Cor100°C

•电源电压：

±15VDC或

+24VDC

•输岀信号：

0~10V

或0~5V

KS电容式薄牍压力传感器系列

Model

Temp

TripRelay

CommPort

DualRange

Etch

SmallSize

622A

Ambient

NO

TerminalStrip

NO

NO

NO

623A

Ambient

YES

15pin-D

NO

NO

NO

624B

45°C

YES

15pin-D

NO

NO

NO

D24B

45°C

YES

15pin-D

YES

NO

NO

625B

100°C

YES

15pin-D

NO

NO

NO

D25B

100°C

YES

15pin-D

YES

NO

NO

626A

Ambient

NO

15pin-D

NO

NO

NO

627B

45°C

NO

15pin-D

NO

NO

NO

627C

45°C

NO

EtherNet

NO

NO

NO

D27B

45°C

NO

15pin-D

YES

NO

NO

E27B

45°C

NO

15pin-D

NO

YES

NO

E27C

45°C

NO

EtherNet

NO

YES

NO

628B

100°C

NO

15pin-D

NO

NO

NO

628C

100°C

NO

EtherNet

NO

NO

NO

D28B

100°C

NO

15pin-D

YES

NO

NO

E28B

100°C

NO

15pin-D

NO

YES

NO

E28C

100°C

NO

EtherNet

NO

YES

NO

629B

45/100°C

NO

9pin-D

NO

NO

NO

E29B

45/100°C

NO

9pin-D

NO

YES

NO

631A

150/200°C

NO

15pin-D

NO

NO

NO

631B

150/200°C

NO

15pin-D

NO

NO

NO

632B

150/200°C

YES

15pin-D

NO

NO

NO

722A

Ambient

NO

9/15pin-D

NO

NO

YES

727A

45°C

NO

9/15pin-D

NO

NO

YES

728A

100°C

NO

9/15pin-D

NO

NO

YES

DMA-Amb

Ambient

NO

DeviceNet

NO

NO

NO

DMA-45

45°C

NO

DeviceNet

NO

NO

NO

DMA-80

80°C

NO

DeviceNet

NO

NO

NO

MKS电容式薦膜压力传感霜亀性连接

引脚号

定义

1

不连接

2

压力信号输出0~10VDC

3

不连接

4

不连接

5

电源公共端

6

-15VDC

7

+15VDC

8

不连接

9

不连接

10

不连接

11

不连接

12

压力信号公共端

13

不连接

14

不连接

15

外壳地